製品・サービス情報 Products & Services

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金属チタン高純度チタン

当社の高純度チタンは、独自のクロール法による高純度スポンジを原料として、専用EB溶解炉を用いて製造することにより、純度4N5~5Nレベルかつ低酸素の品質を安定的に実現しています。
高純度チタン製品は、お客様のご要望に応じてインゴット(鋳塊)または鍛造加工で組織制御したビレットで供給しています。

インゴット
インゴット
ビレット
ビレット

用途

用途

DRAMなどの半導体の薄膜形成用スパッタリングターゲット材

インゴット
高純度インゴット
ビレット
高純度ビレット

仕様

[Ti;%、その他;ppm]

品種   Ti Fe Ni Cr Al Si Sn Cu O
4N5 Spec. >99.995 <15 <5 <5 <5 <3 <3 <3 <300
Typical   5 2 <1 <1 <0.5 <0.5 <0.5 <200

※ その他の金属成分、ガス成分も低レベルに管理しています。

チタン営業部

TEL0467-87-7023 FAX:0467-82-6661

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