Products / 製品情報
金属チタンー高純度チタン
4N5（純度99.995％）ないし5N（純度99.999％）の高純度チタンは、DRAMなどの半導体の薄膜形成用スパッタリングターゲット材として、半導体の高機能化に貢献しています。
用途
主として半導体の薄膜形成用スパッタリングターゲット
プロダクトライン
純度 ：4N5(99.995%) ないし 5N (99.999%)
形状 ：インゴット及びビレット
仕様
| 仕様例 (4N5) | [Ti : % min., その他 : ppm max.] |
| Ti | Fe | Ni | Cr | Mn | Al | Si | Sn | Cu | Na | K | O | C | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 規格 | 99.995 | 15 | 10 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 0.05 | 0.05 | 500 | 50 |
| Typical | Balance | 5 | 3 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <0.05 | <0.05 | 250 | 20 |
・ガス状成分は、不純物として含まれません。
・仕様は需要家の要求により異なります。
チタン営業部
TEL：0467-87-7023 FAX：0467-82-6661
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