高純度チタン
高純度・低酸素の厳しい
要求に
先進技術で対応
当社の高純度チタンは、独自のクロール法による高純度スポンジを原料として、専用EB溶解炉を用いて製造することにより、純度4N5～5Nレベルかつ低酸素の品質を安定的に実現しています。
高純度チタン製品は、お客様のご要望に応じてインゴット（鋳塊）または鍛造加工で組織制御したビレットで供給しています。
高純度インゴット
高純度ビレット用途
DRAMなどの半導体の薄膜形成用スパッタリングターゲット材
仕様
[Ti；%、その他；ppm]
| 品種 | Ti | Fe | Ni | Cr | Al | Si | Sn | Cu | O | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 4N5 | Spec. | >99.995 | <15 | <5 | <5 | <5 | <3 | <3 | <3 | <300 |
| Typical | 5 | 2 | <1 | <1 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <200 | ||
※その他の金属成分、ガス成分も低レベルに管理しています。